近日，毅達資本完成對煙臺萬華電子材料有限公司（以下簡稱“萬華電子”）的投資。

萬華電子成立于2018年，是萬華節能科技集團股份有限公司旗下專業從事電子特氣產品研發、生產和銷售的企業。公司業務以硅烷類等電子特氣的研發生產及銷售為核心，輔以普通工業氣體的綜合解決方案，致力于實現大規模集成電路、新型顯示面板等高端領域氣體材料的國產替代。

萬華電子的核心產品包括甲硅烷、乙硅烷等。其中，乙硅烷是一種在半導體先進制程開發以及薄膜沉積工藝等相關制造環節中的關鍵先進材料，可大幅提升半導體產品開發的成功率，大幅降低研發生產成本，顯著縮短開發時間。萬華電子生產的乙硅烷中試純度超過5N級別，甲硅烷中試純度超過7N級別，性能指標已經達到國際先進水平。目前，公司正在建設年產140噸硅烷類產品生產線，預計2024年正式投產。

毅達資本投資團隊表示，電子特氣行業國產替代空間廣闊，乙硅烷更是半導體高端制程中不可或缺的核心沉積材料。萬華電子現已突破高收率乙硅烷制備技術，成本上具有大幅降低的潛力。此外，公司正在研發其他品種的電子特氣產品，積極向電子特氣研發、經銷、服務、提供綜合解決方案平臺型企業邁進。期待萬華電子持續深耕研發，加快產業化進程，進一步釋放產能，在特種氣體國產化之路上行穩致遠。

校對：趙燕